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        PRODUCT CENTER

        產品中心

        當前位置:首頁產品中心在線分析儀器質量流量計SEC-8000 F/D/E 系列高溫數字式質量流量控制器

        高溫數字式質量流量控制器
        產品簡介:

        SEC-8000F/D/E 系列高溫數字式質量流量控制器可在 15℃ 至 120℃ 的高溫環境下工作,用于半導體和化合物半導體加工在內的各種工作任務。

        產品型號:SEC-8000 F/D/E 系列

        更新時間:2025-04-07

        廠商性質:代理商

        訪問量:494

        服務熱線

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        產品介紹
        品牌HORIBA/堀場價格區間面議
        產品種類差壓式介質分類氣體
        產地類別進口應用領域環保,食品/農產品,化工,電子/電池,汽車及零部件
        動態范圍3 SCCM 至 150 SLPM(具體視氣體種類與型號而定)支持氣體各類高純氣體、腐蝕性氣體
        控制精度±1.0%響應時間≤1 秒
        通信接口數字:RS485(SEC-8000F),DeviceNet(SEC-8000D)使用溫度5~50°C
        工作壓力1 ~ 3 bar接口類型1/4

        HORIBA SEC-8000F/D/E 系列 高溫數字式質量流量控制器

        產品概述

        HORIBA SEC-8000 F/D/E 系列是一款專為高溫環境設計的高溫數字式質量流量控制器(MFC),適用于 15°C 至 120°C 的使用溫度范圍。該系列產品集成了高精度控制、快速響應和高潔凈設計,廣泛應用于半導體、光伏和光纖等行業的高溫氣體流程管理。

        產品特點

        • 高溫適用性:可在 15°C 至 120°C 的環境下穩定運行,滿足苛刻工藝條件。

        • 高精度控制:控制精度高達 ±1.0% of S.P.,確保關鍵工藝中流量穩定可靠。

        • 快速響應性能:響應時間短,提高系統整體效率,適合動態氣體控制需求。

        • 全金屬超潔凈設計:適用于高純氣體和腐蝕性氣體,適配最嚴苛潔凈度要求。

        • 多種通訊協議:支持數字(RS485)與 DeviceNet 通訊(根據型號區分)。

        • 環保合規:通過 RoHS 標準,降低對環境的影響。

        技術規格


        參數數值
        控制范圍3 SCCM 至 150 SLPM(具體視氣體種類與型號而定)
        支持氣體各類高純氣體、腐蝕性氣體
        控制精度±1.0% of Set Point(1~100% F.S.)
        重復精度±0.2% of F.S.
        響應時間≤1 秒
        通信接口數字:RS485(SEC-8000F),DeviceNet(SEC-8000D)
        工作壓力1 ~ 3 bar
        使用溫度15~120°C
        接口類型1/4", 1/2" VCR®, Swagelok®, 面密封等可選
        電源要求24 VDC ±10%
        認證標準SCE、RoHS、SEMI 等


        應用領域

        • 半導體制造工藝(刻蝕、沉積、擴散等)

        • 化合物半導體器件生產

        • 光伏電池制造

        • 光纖與特種玻璃材料處理

        • 精密材料熱處理氣氛控制


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