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        PRODUCT CENTER

        產品中心

        當前位置:首頁產品中心在線分析儀器質量流量計HORIBA S600 BR212/BR222氣體質量流量控制器

        氣體質量流量控制器
        產品簡介:

        S600 BR212/BR222氣體質量流量控制器適用于各種行業和應用。S600系列可以控制廣泛的流量:從3 SCCM到500 SLM,并具有各種類型的通信可用,支持 RS485、DeviceNet™、PROFIBUS™、EtherCAT® 及模擬 0–5V DC 信號輸出。

        產品型號:HORIBA S600 BR212/BR222

        更新時間:2025-04-07

        廠商性質:代理商

        訪問量:684

        服務熱線

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        產品介紹
        品牌HORIBA/堀場價格區間面議
        產品種類差壓式介質分類氣體
        產地類別進口應用領域環保,食品/農產品,化工,電子/電池,制藥/生物制藥
        控制范圍3 SCCM到500 SLM支持氣體多種氣體(支持用戶自定義設置)
        控制精度±1.0%響應時間≤1.5 秒
        通信接口RS-485、DeviceNet、EtherCAT、模擬(0–5V/4–20mA)

        HORIBA S600 BR212/BR222氣體質量流量控制器

        產品概述

        S600 BR212/BR222氣體質量流量控制器由日本HORIBA STEC公司研發,是一款高性能、高可靠性的MFC產品,適用于半導體、光伏、生物醫藥、食品包裝等多個制造領域。該系列控制器采用優良的數字控制技術,具備出色的穩定性、精度及通訊能力,廣泛應用于對氣體流量控制要求較高的場合。

        產品特點

        • 寬流量控制范圍
          控制范圍覆蓋 3 SCCM 到 500 SLM,適配各種氣體和工藝需求。

        • 高控制精度
          控制精度高達 ±1.0% S.P.,響應時間小于 1.5 秒,確保控制過程的高一致性。

        • 多種通訊接口
          支持 RS485、DeviceNet™、PROFIBUS™、EtherCAT® 及模擬 0–5V DC 信號輸出,便于系統集成。

        • 多供電及密封選項
          支持 ±15VDC 與 24VDC 兩種供電,提供橡膠密封或金屬密封可選,適應不同使用環境。

        • 優異的長期穩定性與耐久性
          高可靠性設計,適應嚴苛工業環境,減少維護頻次。

        技術規格

        氣體質量流量控制器

        適用場景

        • 半導體制造
          光刻、離子注入、CVD、PVD等氣體控制場合。

        • 光伏設備制造
          多晶硅擴散、PECVD等。

        • 生物制藥行業
          精密氣體反應控制、細胞發酵培養氣氛調節。

        • 食品和飲料
          氣調包裝、注氮灌裝、飲料殺菌與保存過程。

        • 工業爐與熱處理設備
          氣氛控制,提升熱處理質量與一致性。



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