HORIBA GR-300 系列 是一款專為半導(dǎo)體制造環(huán)境開發(fā)的自動壓力調(diào)節(jié)器/質(zhì)量流量傳感器（Auto Pressure Regulator, APR），其核心功能是控制晶圓背面腔體中的氣體壓力，從而實現(xiàn)溫度穩(wěn)定和熱傳導(dǎo)效率的優(yōu)化。

HORIBA GR-300 系列 自動壓力調(diào)節(jié)器/質(zhì)量流量傳感器

產(chǎn)品簡介

HORIBA GR-300 系列 是一款專為半導(dǎo)體制造過程中的晶圓背面壓力控制而設(shè)計的自動壓力調(diào)節(jié)器/質(zhì)量流量傳感器。該系列產(chǎn)品采用高精度壓力傳感器和高速響應(yīng)的控制閥，能夠?qū)崿F(xiàn)從真空到大氣壓的精確壓力控制，確保晶圓在等離子體 CVD、刻蝕等工藝中的溫度穩(wěn)定性。

產(chǎn)品特點

• 高精度壓力控制：內(nèi)置高性能壓力傳感器，確保壓力控制的精度和穩(wěn)定性。

• 快速響應(yīng)：采用高速響應(yīng)的控制閥，實現(xiàn)快速的壓力調(diào)節(jié)，適應(yīng)工藝過程中的壓力變化需求。

• 支持 EtherCAT 通信：具備 EtherCAT 通信接口，方便與上位機系統(tǒng)集成，實現(xiàn)遠(yuǎn)程控制和監(jiān)測。

• 緊湊設(shè)計：與質(zhì)量流量控制器（MFC）尺寸相當(dāng)，便于在設(shè)備中集成安裝。

• 多種氣體兼容：適用于氦氣（He）、氬氣（Ar）、氮氣（N?）等多種氣體。

技術(shù)規(guī)格

• 壓力控制范圍：1～100% F.S.

• 壓力精度：±0.5% F.S.

• 響應(yīng)時間：1 秒以內(nèi)

• 最大工作壓力：250 kPa (A)

• 耐壓：300 kPa (A)

• 外部泄漏率：5×10?12 Pa·m3/s (He) 以下

• 適用氣體：He, Ar, N?

• 接頭類型：1/4 英寸 VCR 相當(dāng)

• 接氣部材質(zhì)：SUS316L

• 工作溫度范圍：5～50℃（精度保證溫度范圍：15～40℃）

• 電源：24VDC ±4V

• 通信接口：EtherCAT Protocol

應(yīng)用領(lǐng)域

• 半導(dǎo)體制造：用于等離子體 CVD、刻蝕等工藝中晶圓背面的壓力控制，確保溫度的均勻性和穩(wěn)定性。

• 真空設(shè)備：在真空成膜設(shè)備中，實現(xiàn)搬送腔體的壓力控制，確保晶圓在搬送過程中的安全性。

• 其他高精度壓力控制場合：適用于需要精確壓力控制的其他工業(yè)應(yīng)用。