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        PRODUCT CENTER

        產(chǎn)品中心

        MU100XE 干式真空泵
        產(chǎn)品簡介:

        KASHIYAMA MU100XE 干式真空泵,適用于半導體、LED、液晶等高潔凈工藝。無油設(shè)計,穩(wěn)定高效,支持高強度連續(xù)運行。

        產(chǎn)品型號:

        更新時間:2025-05-20

        廠商性質(zhì):代理商

        訪問量:383

        服務(wù)熱線

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        產(chǎn)品介紹
        品牌KASHIYAMA/日本價格區(qū)間面議
        儀器種類真空泵產(chǎn)品類型無油泵
        產(chǎn)地類別進口應(yīng)用領(lǐng)域食品/農(nóng)產(chǎn)品,能源,制藥/生物制藥,綜合

        KASHIYAMA MU100XE 干式真空泵

        產(chǎn)品簡介

        MU100XE 干式真空泵 是日本樫山工業(yè)(KASHIYAMA)MU-XE 系列中的高性能干式真空泵,專為半導體、液晶顯示器、LED 和光伏行業(yè)設(shè)計,具備無油潔凈、節(jié)能環(huán)保、結(jié)構(gòu)緊湊、易于維護等優(yōu)勢。憑借其可靠的性能和穩(wěn)定的運行能力,MU100XE 已廣泛應(yīng)用于多種嚴苛的工藝環(huán)境中。

        技術(shù)參數(shù)

        • 抽速:1660 L/min

        • 極限壓力:1.5 Pa

        • 電源:三相 AC 200–220V,50/60Hz

        • 功耗:約 0.25 kW

        • 尺寸:450 × 230 × 275 mm

        • 重量:約 60 kg

        產(chǎn)品特點

        • 無油干式設(shè)計:無需油封,避免油蒸汽污染,特別適合潔凈室和敏感工藝環(huán)境。

        • 高抽速、低能耗:優(yōu)化的Roots轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu),提供高達1660 L/min的穩(wěn)定抽速,節(jié)能高效。

        • 結(jié)構(gòu)緊湊,易集成:體積小巧,適用于空間受限的自動化設(shè)備或成套系統(tǒng)集成。

        • 超低維護成本:部件壽命長,維護周期延長,降低運營成本。

        • 適配性強:可兼容多種工藝氣體環(huán)境,適用于CVD、PVD、刻蝕、封裝等多種工藝流程。

        應(yīng)用領(lǐng)域

        • 半導體制造設(shè)備(刻蝕、沉積、蝕刻等)

        • 液晶顯示器(LCD)生產(chǎn)線

        • 太陽能光伏組件制造

        • LED 芯片制造

        • 電子封裝與測試設(shè)備

        • 真空鍍膜和涂層系統(tǒng)



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