HORIBA 氣體質量流量計 SEC-Z522MGX 是一款高性能、多氣體/多量程的數字式質量流量控制器（Mass Flow Controller, MFC），隸屬于 HORIBA Z500X 系列，廣泛應用于半導體制造、光通信、精密氣體控制實驗室等對氣體流量要求較高的工業場景。

HORIBA 氣體質量流量計 SEC-Z522MGX 

產品概述

HORIBA 氣體質量流量計 SEC-Z522MGX 是一款高性能、多氣體/多量程的數字式質量流量控制器（Mass Flow Controller, MFC），隸屬于 HORIBA Z500X 系列，廣泛應用于半導體制造、光通信、精密氣體控制實驗室等對氣體流量要求較高的工業場景。其精密度高、響應速度快、兼容性強，是實現高穩定性氣體輸送控制的理想選擇。

主要特點

• 多氣體 / 多量程支持：用戶可現場切換氣體類型與滿量程范圍，無需更換本體；

• 高精度控制：低至 ±1.0% S.P. 的設定精度，重復性高達 ±0.2% F.S.；

• 高速響應：1 秒內快速響應，適用于動態過程控制；

• 數字通信接口：支持 RS-485（F-NET 協議）或可選 DeviceNet、EtherCAT 等；

• 316L 不銹鋼接液材質：適用于腐蝕性氣體，高潔凈工藝兼容；

• 多種接頭接口：支持 1/4 英寸 VCR、IGS 及定制接口；

• 安裝方向不受限制：便于系統集成設計。

技術參數

• 最大流量范圍：可達 50 SLM（以氮氣為基準計算）。

• 控制范圍：可在滿量程的 2% 至 100% 之間穩定控制。

• 測量范圍：0% 至 100% 滿量程。

• 控制精度：

• 當流量大于 25% 滿量程時，控制精度為 ±1.0% 設定點（Set Point）。

• 當流量小于或等于 25% 滿量程時，控制精度為 ±0.25% 滿量程（Full Scale）。

• 響應時間：小于 1 秒，適用于快速動態氣體控制。

• 重復性：±0.2% 滿量程，確保批次一致性。

• 線性度：±0.5% 滿量程，適用于精密工藝控制。

• 工作溫度范圍：5°C 至 50°C（推薦使用范圍為 15°C 至 45°C）。

• 工作壓差范圍：50 至 300 kPa（差壓）。

• 最大工作壓力：最高可達 450 kPa（表壓），設備耐壓上限為 1000 kPa。

• 泄漏率：氦氣測試泄漏率小于或等于 5 × 10?12 Pa·m3/s，適用于高潔凈等級要求。

• 電源要求：+15V ±5% 和 -15V ±5%，各需 150 mA。

• 通信接口：標準支持 RS-485（F-NET 協議），可選 DeviceNet、EtherCAT 協議版本。

• 接液材質：316L 不銹鋼，內部表面鏡面拋光處理，耐腐蝕性優異。

• 接口形式：標準為 1/4 英寸 VCR 接頭，亦可選配 IGS 或定制接口。

• 安裝方向：不受限制，適應各類設備布置需求。

• 閥門類型：常閉（Normally Closed, C 型）或常開（Normally Open, O 型），視型號配置而定。

• 多氣體 / 多量程功能：支持通過軟件自由切換氣體類型與滿量程設定，提升系統兼容性與維護便利性。

應用領域

• 半導體制造中的氣體輸送與刻蝕工藝

• 光通信器件的高純氣體控制

• 生物、醫藥、實驗室高精氣體流量控制

• 化學反應過程自動化氣體管理