HORIBA STEC SEC-N112MGM 熱式氣體質量流量控制器（MFC）

產品簡介

HORIBA STEC SEC-N112MGM 熱式氣體質量流量控制器 是日本堀場（HORIBA）旗下 SEC-N100 系列數字式氣體質量流量控制器（Mass Flow Controller, MFC） 的代表型號之一。
該系列基于 熱式質量流量測量原理（Thermal Mass Flow Measurement），采用高精度傳感元件與高速控制算法，實現對各類氣體的高精度、快速、穩定的流量控制。
憑借 ±1% S.P. 的控制精度和 ≤ 1 s 的響應速度，SEC-N112MGM 廣泛應用于 半導體工藝、真空鍍膜、精密氣體配比、科研氣體實驗系統 等領域。

主要特性與優勢

1. 熱式質量流量測量原理（Thermal Mass Flow Method）
   基于加熱與溫度差檢測原理，直接測量氣體質量流量，無需溫度和壓力補償。

2. 高精度 ±1.0% S.P. 控制
   通過內置 PID 控制與數字反饋系統，實現高重復性和線性響應。

3. 快速響應 ≤ 1 秒
   采用 HORIBA 的 Variable PID 技術，確保流量變化時快速穩定。

4. 多氣體/多量程（Multi-Gas, Multi-Range）功能
   支持多種氣體預設（N?、Ar、O?、H?、He、CF? 等），可通過軟件切換不同氣體與流量量程。

5. 豐富的通信接口
   提供 RS-485（F-NET 協議）數字通信及模擬信號（0–5 V、4–20 mA）接口，支持多種控制系統集成。

6. 金屬密封結構 (MGM)
   采用全金屬密封設計，適用于高純氣體及真空工藝環境。

7. 高可靠性與低漂移
   長期穩定性優異，適用于連續運行與高精度氣體配比控制。

8. 全球服務與可追溯校準
   HORIBA 提供全球一致的校準體系，符合 ISO 9001 與 CE 認證。

技術參數

應用領域

• 半導體制造工藝氣體流量控制（CVD、PVD、ALD 等）

• 精密真空鍍膜與薄膜沉積設備

• 高純氣體供應系統（氣體柜、混氣系統）

• 科研與實驗室氣體測控裝置

• 環保監測、燃燒分析及精密儀器氣路控制

品牌介紹

HORIBA STEC 是日本堀場集團（HORIBA Ltd.）旗下專注于 氣體流量測量與控制技術 的核心子公司，總部位于京都。
其質量流量控制器（MFC/MFM）產品在全球半導體、真空鍍膜、分析儀器行業中占據優勢地位。
憑借 50 余年的熱式流量計技術積累、嚴格的質量管理體系、以及優良的數字化控制技術，HORIBA STEC 的產品被廣泛認可為高精度、高可靠性、高壽命的行業標準。

產品選型建議

常見問題 FAQ

Q1：SEC-N112MGM 與普通流量計有什么區別？
A1：SEC-N112MGM 為熱式質量流量控制器（MFC），可主動控制并保持流量穩定，而普通流量計只能被動顯示。

Q2：是否可以測量多種氣體？
A2：支持多氣體功能，可通過數字接口切換氣體類型（N?、O?、Ar 等）。

Q3：是否需要溫壓補償？
A3：無需，因其采用熱式原理，直接測量氣體質量流量。

Q4：如何校準？
A4：HORIBA 提供出廠校準及追溯證書，用戶可送回或通過代理商進行周期校準。

Q5：是否支持 EtherCAT 或 DeviceNet 通信？
A5：該型號為 RS-485 版本，若需 EtherCAT 可選擇 SEC-N107 型號。